초고진공 밸브 판매는 어느 것이 좋습니까

스위스 VAT UHV 시리즈 초고진공 밸브

1. UHV 시리즈의 핵심 특징

1. 제품 포지셔닝

• 유형: 전체 금속 밀봉 초고진공 밸브(Ultra-High Vacuum Valve)

• 적용 진공 범위：

• 표준 버전：10⁻⁹ ~ 10⁻² mbar

• 커스텀 버전: 최대 10 ⁻¹mbar(특수 구이 디자인)

• 핵심 이점：

• 제로 누설: 금속 밀봉 누출률<1×10 ⁻¹²mbar=''>(He 누수 감지).

• 내고온 구이: 밸브 허용250°C ~ 300°C구이 (표준) /450°C(사용자 정의)

• 무유기 재료: 전체 금속 구조로 방기 오염을 피합니다.

2. 디자인

• 이중 밀봉 시스템: 주 밀봉(금속 커터) + 차급 밀봉(탄성 보상).

• 저토크 구동: 자성 결합 또는 파문관 전동으로 축봉의 누출을 피한다.

• 재료 순도: 316L 스테인리스강(EP급 전해포광), 표면 거친도 <0.8μm.<>

2. 모델 분류와 기술 파라미터

1. 모델 명명 규칙(VAT UHV 24의 경우)

2. 하위 모델 비교 표

3. 상세한 기술 매개 변수

3. 전형적인 응용장면

1. 반도체 제조

• 적용：

• 각식기/이온 주입기의 캐비티 격리 (입자 오염 방지).

• 분자 빔 외연 (MBE) 시스템의 초고진공 유지.

• 모델 권장사항：

• VAT UHV 24-A (DN40, 공기압 빠른 격리).

2.과학 연구 장치

• 적용：

• 동기 방사 광원의 번들 제어.

• 토카마크와 같은 핵융합 장치의 진공 분단.

• 모델 권장사항：

• VAT UHV 54-M(DN100, 수동 신뢰할 수 있는 밀봉).

3.우주 비행 및 도금

• 적용：

• 위성 추진제 탱크의 진공 밀봉 테스트.

• 광학 도금기의 강체 압력 조절.

• 모델 권장사항：

• VAT UHV 10-E(DN16, 전기 정밀 제어).

4. 모델 선택 및 설치 요점

1. 모델 선택의 핵심 요소

• 지름 수요: 트래픽에 따라 계산됩니다(예: DN40 페어는 약 20 L/s @10 ⁻⁶mbar).

• 구동 방식：

• 공기압: 빠른 스위치 (안전한 격리에 적합).

• 전기: PLC와 같은 자동화 제어를 통합할 수 있습니다.

• 플랜지 표준：

• CF 플랜지: 초고진공 (금속 밀봉).

• ICF 플랜지: 10⁻¹mbar와 같은 매우 작은 누수 요구사항.

2. 설치 사양

• 청결 요구 사항：

• 설치 전 아세톤/알코올로 플랜지 클렌징 (먼지 없는 장갑 착용).

• 토크 제어：

• CF 플랜지 볼트는 대각선으로 단계별로 조여야 합니다(DN40은 8~10Nm 권장).

• 구이 권장사항：

• 10 ° C/min 속도로 250 ° C로 온도를 올리고 48 시간 동안 보온합니다.

5. 유지 보수 및 고장 처리