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홍콩 규용흥방로 223호 신도회광장 2개 3808실
보리기계유한공사
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| YSi-V | ||||||
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| 객체 기판 | L610×W560(최대)~L50×W50(최소)(모노레일 모델) ※ L750mm 초장기 기판 지원(옵션) |
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| 카메라 픽셀 | 1200만 화소 | 5메가픽셀 | ||||
| 유형 | 12M TypeHS2 | |||||
| 해상도 | 12µm | 7µm | ||||
| 객체 검토 | 갓 붙인 소자 상태, 고화된 연고 및 소자 상태 | |||||
| 전원 사양 | 3상 200/208/220/240/380/400/416V ±10% 50/60Hz | |||||
| 공급원 | 0.45MPa 이상, 청결 건조 상태 | |||||
| 폼 팩터 (돌기 부분 제외) | L1,252mm×W1,498mm×H1,550mm | |||||
| 바디 무게 | 약 1300kg | |||||