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보리기계유한공사
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| i-CubeⅡ | ||
|---|---|---|
| 개체 크기 | L30×W30mm(Min)~L300×W200mm(Max) | |
| 패치 정밀도 (당사 평가용 표준소자) |
F 헤드 사양 | 절대정밀도(μ+3σ): ±20μm, 반복정밀도(3σ): ±12.5μm |
| 4 M헤드 사양 | 절대 정밀도(μ+3σ): ±30μm, 반복 정밀도(3σ): ±20μm | |
| 패치 / 스프레이 효율 (최적 조건) ※ 가공 시간 없음 |
4 M헤드 사양 | 0.5초/CHIP(연속 흡입 시) |
| FF 헤드 사양 | 0.8초/CHIP(밴드, 트레이 공급 시) 1.3초/CHIP(웨이퍼 공급 시) | |
| FD 헤드 사양 | 공정에 따라 다르다.별도로 문의주세요. | |
| 폼 팩터 크기 | L1,350xW1,408xH1,850mm | |